減反射膜也稱作增透膜,廣泛應(yīng)用于各類光電儀器設(shè)備中。作為光學(xué)薄膜中用途廣,用量大的干涉薄膜,其對于降低光學(xué)系統(tǒng)中的反射損耗方面有著不可替代的作用。
可以說,減反射膜的存在是光學(xué)系統(tǒng)發(fā)揮作用的基本保證。根據(jù)減反射膜增透范圍的不同,可以分為單波長減反射,雙波段減 反射和寬帶減反射等。根據(jù)減反射膜對應(yīng)光譜區(qū)域不同,可以分為可見區(qū)減反射膜,對應(yīng)基板一般為K9/BK7,石英,寶石,Nd:YAG等激光晶體,浮 法玻璃(青板/白板)以及鑭系和錒系玻璃等;紫外減反射膜,對應(yīng)基板為氟系化合物;以及紅外減反射膜,對應(yīng)基板一般為ZnS,ZnSe,Si,Ge等紅外 材料。
不同光譜區(qū)域的減反射膜蒸鍍工藝條件差別很大,需要對應(yīng)材料進行專門膜系設(shè)計以及工藝條件參數(shù)調(diào)整。
根據(jù)減反射膜用途,可以分為普通減反射膜和特殊要求的減反射膜層。例如有的光學(xué)元件除了對光譜特性有減反射具體要求外,對于膜層的防塵,防水,以及抗激光損傷閾值,抗拉伸強度,紫外和紅外輻照條件等均有要求,這就需要在設(shè)計減反射膜層時候充分考慮客戶要求,有針對性的設(shè)計特殊使用環(huán)境下的減反射膜層,不僅僅滿足客戶的光譜特性需求,還應(yīng)當(dāng)滿足客戶特定使用條件。