非球面透鏡常見的表面不良主要表現(xiàn)在以下三個(gè)方面:
面形誤差
波紋度
表面粗糙度
它們代表真實(shí)表面與理想表面的偏差,如非球面透鏡。用于描述表面輪廓的參數(shù)允許預(yù)測(cè)加工后制造的透鏡輪廓的質(zhì)量。高表面質(zhì)量尤其可以通過高工藝穩(wěn)定性來(lái)實(shí)現(xiàn)。
非球面透鏡的面形誤差
面形誤差描述了測(cè)試表面更低點(diǎn)和更高點(diǎn)之間的差異。打個(gè)比喻,它是指從山到谷,因此形式誤差由PV值(峰谷)給出。PV值是檢測(cè)非球面透鏡表面最重要的表面規(guī)格之一。它是用波紋或條紋來(lái)評(píng)估。也可以將其指定為均方根或微米偏差。RMS值(均方根)描述了實(shí)際表面和目標(biāo)表面之間的均方差并考慮了缺陷的面積。
非球面透鏡的波紋度
加工過程中的拋光工具可引起非球面透鏡上的波紋度誤差。因此,這種表面偏差特定于應(yīng)用。波紋度具有比粗糙度更長(zhǎng)的波長(zhǎng),這就是濾掉短波長(zhǎng)以供檢查的原因。僅低頻可以通過。它通常也稱為傾斜誤差,在規(guī)定的長(zhǎng)度范圍內(nèi)進(jìn)行檢查。只有當(dāng)波紋度對(duì)非球面透鏡的光學(xué)任務(wù)有影響時(shí),才有必要遵循波紋度公差的規(guī)格要求。
非球面透鏡的表面粗糙度
表面粗糙度描述光學(xué)表面上最小的不規(guī)則性。因此,僅檢查分析短波長(zhǎng)并過濾掉低頻。表面粗糙度是衡量拋光過程質(zhì)量的一個(gè)尺度。非球面透鏡對(duì)光學(xué)應(yīng)用的影響通常具有決定性。例如,一旦高功率(如激光功率)作用于非球面透鏡,高度粗糙度會(huì)導(dǎo)致非球面透鏡更快磨損。此外,散射降低了測(cè)量結(jié)果的質(zhì)量,這就是將表面粗糙度視為高質(zhì)量特征的原因。在計(jì)量或航空航天等行業(yè),這一點(diǎn)非常重要。表面粗糙度的確定是制造過程的一部分,特別是對(duì)于高質(zhì)量的非球面透鏡。